蘇州電子特氣提純複疊制冷機組

簡要描述：蘇州電子特氣提純複疊制冷機組用於實現低溫分離、液化純化等關鍵步驟，不同氣體的物性差異導緻所需溫度範圍差異顯著。

産品型号：
廠商性質：生産廠家
更新時間：2026-01-07
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詳細介紹

蘇州電子特氣提純複疊制冷機組-江蘇康士捷機(jī)械設備(bèi)有限公司設計生産，型号齊全。

蘇州電子特氣提純複疊制冷機組用於

氣體類型	用途	提純溫度範圍
高純矽烷（SiH₄）	CVD沉積、外延生長	-80℃～-120℃
六氟化鎢（WF₆）	金屬鎢沉積	-30℃～-50℃
三氟化氮（NF₃）	等離子體清洗	-60℃～-80℃
氯化物（HCl）	刻蝕、外延	-85℃～-100℃
八氟環丁烷（C₄F₈）	介電材料刻蝕	-40℃～-60℃

蘇州電子特氣提純複疊制冷機組有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、極低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列産品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非标定做。溫度穩定性±0.1℃等可選。