電子元件有機廢氣處理用制冷機組用於(yú)芯片生産、電路闆清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程中。大型生産線廢氣主要成分一般爲苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴等有機氣體，同時會有少量高溫烘幹廢氣需一並(bìng)處理。